专注高纯光电子材料 持续为客户创造价值
主营产品光纤级四氯化硅,目前已发展成为国内产销量前列的光纤级四氯化硅供应商
连续化生产工艺技术
高级别产品(11N级)+四氯化硅3万吨年产量+专利
建设市级电子半导体材料分析检测中心
GC色谱仪 / FT-IR分析仪 / ICP-MS分析仪
UL3000 Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪


INFICON泄漏检测在设定性能和易用性市场标准方面有着悠久的历史。UL3000 Fab在当今的泄漏测试中提供尽可能高的速度和最佳的用户友好性。UL3000 Fab专为满足半导体制造的特殊需求而开发,例如半导体和显示工具 (包括子组件) 的 泄漏检查。
优势一览
■ 通过I·CAL软件算法节省时间,实现快速测量,测量范围为10-9 – 10-12毫巴升/秒
■ 使用具有改进型智能功能的I·ZERO 2.0进行最有效的泄漏检查,可实现快速背景抑制,同时保持高测量灵敏度
■ 适用于真空和吸枪泄漏检测
■ 抽真空和响应速度快,将泄漏检测工作量降至最低
■ 超薄设计,易于操作,节省时间
■ 配备经久耐用的离子源 (保修期3年) 和逆流式真空系统,可降低总拥有成本 (TCO)
■ 配备全彩高清可旋转显示屏的HMI界面,使用简便,提供直观操作指导
为UL3000 FAB ULTRA带来附加优势
■ HYDRO·S软件消除了水蒸汽背景,因此可以尽早开始泄漏检查,从而可以快速达到灵敏的测量范围
■ 抽速更高,能够更快完成抽空(抽真空)
■ 免维护罗茨低真空泵降低了TCO
测量结果操作、分析和存储过程简便
■ 带触摸屏,直观指导用户操作
■ 现代菜单结构
■ 可旋转全彩高清显示屏
■ 使用移动设备通过Wi-Fi进行远程控制
■ 数据存储能力
■ 使用U盘导出数据 (控制访问)
低运行和维护成本
尽管使用寿命长,但维护成本低,这归功于:
■ 强大的真空系统
■ 经久耐用的离子源,保修期3年
仪器可更方便地进入检漏区域
■ 小而坚固的设计,确保稳定性和最佳移动性
■ 重心低,易于搬运
■ 大滚轮轻松通过障碍
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